測量傳感器定義 敏感元件能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息并將其轉變?yōu)殡娦畔⒌奶胤N電子元件.能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息并將其轉變?yōu)殡娦畔⒌奶胤N電子元件。這種元件通常是利用材料的某種敏感效應制成的。敏感元件可以按輸入的物理量來命名,如熱敏(見熱敏電阻器)、光敏、(電)壓敏、(壓)力敏、磁敏、氣敏、濕敏元件。在電子設備中采用敏感元件來感知外界的信息,可以達到或超過人類感覺器官的功能。敏感元件是傳感器的核心元件。隨著電子計算機和信息技術的迅速發(fā)展,敏感元件的重要性日益增大。
測量傳感器分類
力敏元件種類繁多,如電阻式、電容式、壓電式等。常見的是金屬應變計和半導體應變計。金屬應變計是受外力的作用使金屬箔和金屬絲伸長或縮短,使電阻值發(fā)生變化來完成信息轉換功能的。應變材料多采用銅、鎳等金屬和合金。半導體應變計是利用半導體材料的壓阻效應制成的。圖2表示N型硅的電阻值隨壓強的變化。由圖2可見,在壓強約為20吉帕以下時,N型硅的電阻值隨壓強的變化呈線性。利用這一線性段可制成半導體應變計。半導體應變計又可分為體型和擴散型兩種。擴散型半導體應變計利用半導體平面工藝制成,性能優(yōu)良,具有很大的發(fā)展前途。力敏元件的基本參數(shù)為靈敏度,即電阻值的相對變化量與應變量的比值。金屬應變計的靈敏系數(shù)為2~3,而半導體應變計的靈敏系數(shù)為20~200。力敏元件可用來測量壓力、位移、扭矩、加速度、氣壓、氣體流量等力學量。電參數(shù)隨環(huán)境濕度變化而變化的敏感元件。濕敏元件包括電解質濕敏元件、有機高分子膜濕敏元件、金屬氧化物濕敏元件和陶瓷濕敏元件等。濕敏電阻器的靈敏度以相對濕度變化1%時的電阻值變化率來表示。多數(shù)濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而減小,這類濕敏電阻器稱為負特性濕敏電阻器。也有少數(shù)濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而增加。濕敏元件主要用于濕度測量和控制,按測濕范圍可分為高濕型、低濕型、全濕型三類。它在氣象、食品、紡織、輕工部門和環(huán)境空調、倉庫設施中獲得廣泛的應用。